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Beneking H. Halbleiter-Technologie.

Name: Beneking H. Halbleiter-Technologie.
Price: 21000 RUB
Availability: InStock
Author: Eine Einfuhrung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen
ISBN: 3-519-06133-3

Eine Einfuhrung in die Prozesstechnik von Silizium und III-V-Verbindungen

21 000 ₽

Год издания1991

ISBN3-519-06133-3

Страниц824

Обложкатвердый переплет

Описание

Содержание. Teil I. Verfahrensscshritte. Grundmaterialien und ihre Herstellung. Grundmaterial-Eigenschaften und Analytik. Epitaxie-Verfahren. Dotierungsverfahren. Abscheideverfahren. Lithographie. Atz- und Trennverfahren. Teil II. Bauelemente. Bauelemente - spezifische Arbeitsschritte. Reale Strukturen und Integration. Dioden. Bipolartransistoren. Feldeffekttransistoren. Optoelektronische Bauelemente. Qualitatssicherung, unkonventionelle Bauelemente und Ausblick.