Лифшиц В.Г., Луняков Ю.В. Спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии.

В монографии приводятся основные сведения о методе спектроскопии характеристических потерь энергии электронами (ХПЭЭ), собраны и систематизированы спектры ХПЭЭ поверхностных фаз на кремнии с различной ориентацией и реконструкцией подложки. Книга предназначена для сотрудников академических институтов и предприятий полупроводниковой микроэлектроники, занимающихся кремниевыми технологиями, и студентов и аспирантов, специализирующихся в области физики конденсированного состояния и физики поверхности. Оглавление: Спектроскопия ХПЭЭ. Кремний. Серебро. Алюминий. Золото. Бор. Углерод. Хлор. Кобальт. Хром. Цезий. Медь. Железо. Гадолиний. Германий. Водород. Индий. Калий. Литий. Магний. Марганец. Молибден. Азот. Натрий. Кислород. Свинец. Палладий. Празеодим. Платина. Рубидий. Иттербий. Приложение. Спектры ХПЭЭ упорядоченных поверхностных фаз на кремнии.

Отзывы покупателей