Тонкие пленки в электронике.

Из содержания: (коллектив авторов) Секция I. Строение и свойства тонких молекулярных пленок. Ориентирующие свойства, плазмохимических покрытий. Структурные исследования ЛБ-пленок на основе нематогенных и смектогенных молекул. Структурные исследования пленок Ленгмюра-Блоджетт пироактивных материалов. Составляющие поверхностной энергии плазмохимических покрытий и их влияние на структурируемость плоского слоя биколлоида. Ионная проводимость пленок. Формирование монослоев трет-бутил-замещенного фталоцианина меди. Формирование и оптические свойства тонкопленочных мезогенов. Секция II. Получение и применение в микроэлектронике синтетического алмаза в виде тонких пленок и толстых слоев. Плазменные поверхностные волны для осаждения пленок аморфного углерода на диэлектрическую подложку. Полиэдрально-алгебраическое описание максимально-детерминированных некристаллических алмазоподобных структур. Экспериментальная установка для получения алмазных пленок из газовой фазы СВЧ-разряде. Оценка состава активированной газовой фазы в реакторе для наращивания алмазных пленок по методу нагретой нити. Установка для получения пленок ионно-плазменным методом. Методика выбора режимов работы и определения параметров конструкции устройства удаления МДЧ в вакууме. Об одном типе устройства на основе принципа согласованного действия планарного магнетрона и ионных источников. Системы стабилизации и визуализации положения электронного луча в испарителе установки вакуумного нанесения тонких пленок. Выращивание тонких поликристаллических пленок Ag распылением ионным пучком. Исследования электропроводящих свойств пленок металлов при повышенных температурах. Применение метода инверсионной вольтамперометрии для определения концентрации легирующей примеси в сильнолегированных медью пленках AIN, выращенных ВЧ-магнетронным распылением. Иссл-е влияния электромагнитных полей на плазмостимулированный рост пленок фианита. И т.д.

Отзывы покупателей